CD681 Nanofics低压等离子表面处理设备-仪表网

公司介绍主营产品

伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供好的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为真空品牌**代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有*的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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产品简介在线询价

Europlasma CD681 Nanofics 低压等离子表面处理设备可以实现产品的清洗, 功能性改性, 通过 Nanofics 技术可以实现产品的防水, 防腐蚀, 防氧化处理, 处理温度 40℃ 以下.材料: 铝有效尺寸: 1000 x 980 x 695mm容积: 681L舱门: 装有可视窗口托盘: 4个尺寸: 858 x 672mm，托盘间距:......

CD681 Nanofics低压等离子表面处理设备产品详情

CD681 Nanofics低压等离子表面处理设备技术参数：

反应舱	材料: 铝有效尺寸: 1000 x 980 x 695mm 容积: 681L 舱门: 装有可视窗口托盘: 4个尺寸: 858 x 672mm, 托盘间距: 150mm
真空度测量	Baratron真空计
真空泵	干式真空泵泵组
频射发生器	根据客户应用需求定制
控制系统	PLC可实现下列功能: 自动控制反应过程; 根据处理材料设定不同的处理工艺参数; 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标; 监测所有的运行指标, 保证各项参数在设定范围之内; 设定操作进入密码.
电源	380V AC, 三相, 50Hz, 40A
反应气体	一个气体输入端口, 含气体流量控制器（MFC）
气体输入	直径1/4英寸（6.45mm）管道; 输入压力:1Bar
尾气排放	直径28mm 输出端口
性能	急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE认证.

关键词：真空泵发生器控制系统气体流量控制器

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