TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- *的转子设计，实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低，抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量较轻，尺寸较小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- *的转子设计，实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低，抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量轻，尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
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典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
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技术参数 | TURBOVAC MAG | |||||||||
W 830 | W 830 C | W 1300 | W 1300 C | |||||||
进气口法兰 | DN | 160 CF | 160 ISO-F | 200 CF | 200 ISO-F | 250 ISO-F | ||||
抽速 | ||||||||||
氮气 | I x s-1 | 900 | 700 | 1170 | 1100 | 1220 | ||||
氩气 | I x s-1 | 750 | 650 | 1100 | 1050 | 1180 | ||||
氦气 | I x s-1 | 900 | 500 | 1150 | 1100 | 1200 | ||||
氢气 | I x s-1 | 740 | 350 | 920 | 920 | 1020 | ||||
转速 | min-1 | 36 000 | 24 000 | 36 000 | 36 000 | 36 000 | ||||
压缩比 | ||||||||||
氮气 | 1 5 x 108 | > 5 x 107 | 1 5 x 108 | > 108 | > 108 | |||||
DIN 28 400的极限压强 | ||||||||||
mbar | < 1 x 10-10 | < 10-8 | < 1 x 10-10 | < 10-8 | < 10-8 | |||||
(Torr) | (< 0 75 x 10-10) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-10) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-8) | |||||
前级耐压，氮气 | ||||||||||
对流冷却 水冷却 | mbar (Torr)mbar (Torr) | 0 2 (0 15) 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | 0 2 (0 15) 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | ||||
推荐的前级泵 | ||||||||||
旋片泵 | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | |||||
或抽速达100 m3/h的干压缩泵 | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | |||||
加速时间 | min | < 6 | < 4 | < 6 | < 6 | < 6 | ||||
前级管道法兰 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | ||||
保护气/破空端口 | DN | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | ||||
水冷接口尺寸 | ||||||||||
(管子外径) | mm (in ) | 1/4" | 1/4" | 1/4" | 6 | 6 | ||||
重量 | kg (lbs) | 35 (77 3) | 32 (70 6) | 35 (77 3) | 32 (70 6) | 32 (70 6) | ||||
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
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