典型应用
- PVD镀膜系统
- 建筑玻璃镀膜
- 光学镀膜
- 液晶显示器
- 平板显示
- 科研
- 分析领域
技术特点
- 任意方向安装
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列产品
MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 防护等级IP 54
- 两个工业通信模块卡接口
- RS 232，维护接口
- 可以安装其它接口：Profibus、RS
485 C，9针24 V SPS
客户得益
- 抽速和气载量较高
- 可靠、耐用
- 免维护
- 适合用于分析、薄膜技术、电子显
微镜、科研领域等对振动敏感的应
用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性，
变频器可以安装在一侧或下面
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
技术特点
- 任意方向安装
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列产品
MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 防护等级IP 54
- 两个工业通信模块卡接口
- RS 232，维护接口
- 可以安装其它接口：Profibus、RS
485 C，9针24 V SPS
客户得益
- 抽速和气载量高
- 可靠、耐用
- 免维护
- 适合用于分析、薄膜技术、电子显
微镜、科研领域等对振动敏感的应
用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性，
变频器可以安装在一侧或下面
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
典型应用
- PVD镀膜系统
- 建筑玻璃镀膜
- 光学镀膜
- 液晶显示器
- 平板显示
- 科研
- 分析领域
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
技术参数 TURBOVAC MAG INTEGRA W
1300 iP(L) 1600/1601 iP(L)
进气口法兰 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | ||
200 CF | |||||
抽速 | |||||
氮气 | I x s-1 | 1100 | 1600 | ||
氩气 | I x s-1 | 1050 | 1470 | ||
氦气 | I x s-1 | 1220 | 1770/1700 | ||
氢气 | I x s-1 | 1130 | 1570/1500 | ||
转速 | min-1 | 37 800 | 33 000 | ||
可调待机转速 | min-1 | 13 800 (230 Hz) | 13 800 (230 Hz) | ||
压缩比 | |||||
氮气 | > 108 | > 107 | |||
氩气 | > 108 | > 107 | |||
氢气，1 sccm时 | 2 0 x 105 | 6 x 104/3 x 103 | |||
氦气，1 sccm时 | 8 0 x 103 | 1 0 x 103/5 x 102 | |||
气载量 | |||||
氮气，短暂，例如抽出中 | |||||
mbar x I x s-1 | 30 | 60 | |||
氮气，连续使用 | |||||
mbar x I x s-1 | 20 | 30/40 | |||
氩气，短暂，例如抽出中 | |||||
mbar x I x s-1 | 20 | 30 | |||
氩气，连续使用 | |||||
mbar x I x s-1 | 15 | 20/25 | |||
极限压强 | |||||
ISO-F法兰 | mbar | < 10-8 | < 10-8 | ||
CF法兰 | mbar | < 10-10 | – | ||
高除气温度 | °C | 80 | 80 | ||
前级耐压 | |||||
氮气 | mbar | 4 | 1 | ||
氩气 | mbar | 0 6 | 1 | ||
推荐的前级泵 | TRIVAC B 或干泵 | ||||
加速时间 | min | < 5 | < 7 | ||
前级管道法兰 | DN | 40 KF | 40 KF | ||
吹扫/破空端口(夹链式) | DN | 16 KF | 16 KF | ||
水冷接口尺寸 | G | 1/8" | 1/8" | ||
重量 | kg | 40 | 45 | ||
执行ISO 3744标准的噪声级 | dB(A) | < 41 | < 41 | ||
速度时高真空法兰处的振动值 | μm | 0 01 | 0 01 | ||
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
