典型应用
- PVD镀膜系统
- 建筑玻璃镀膜
- 光学镀膜
- 液晶显示器
- 平板显示
- 科研
- 分析领域
技术特点
- 任意方向安装
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列产品
MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 防护等级IP 54
- 两个工业通信模块卡接口
- RS 232，维护接口
- 可以安装其它接口：Profibus、RS
485 C，9针24 V SPS
客户得益
- 抽速和气载量较高
- 可靠、耐用
- 免维护
- 适合用于分析、薄膜技术、电子显
微镜、科研领域等对振动敏感的应
用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性，
变频器可以安装在一侧或下面
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
技术特点
- 任意方向安装
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列产品
MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 防护等级IP 54
- 两个工业通信模块卡接口
- RS 232，维护接口
- 可以安装其它接口：Profibus、RS
485 C，9针24 V SPS
客户得益
- 抽速和气载量高
- 可靠、耐用
- 免维护
- 适合用于分析、薄膜技术、电子显
微镜、科研领域等对振动敏感的应
用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性，
变频器可以安装在一侧或下面
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典型应用
- PVD镀膜系统
- 建筑玻璃镀膜
- 光学镀膜
- 液晶显示器
- 平板显示
- 科研
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技术参数 TURBOVAC MAG INTEGRA W
1700 iP(L) 2200/2201 iP(L)
进气口法兰 | DN | 250 ISO-F | 250 ISO-F | |
250 CF | 250 CF | |||
抽速 | ||||
氮气 | I x s-1 | 1610 | 2100 | |
氩气 | I x s-1 | 1480 | 1900 | |
氦气 | I x s-1 | 1710 | 2050 | |
氢气 | I x s-1 | 1660 | 1750 | |
转速 | min-1 | 33 000 | 30 600/30000 | |
可调待机转速 | min-1 | 13 800 (230 Hz) | 13 800 (230 Hz) | |
压缩比 | ||||
氮气 | > 108 | > 108 | ||
氩气 | > 108 | > 108 | ||
氢气，1 sccm时 | 2 0 x 105 | 5 x 104/5 x 103 | ||
氦气，1 sccm时 | 4 0 x 103 | 5 x 103/5 x 102 | ||
气载量 | ||||
氮气，短暂，例如抽出中 | ||||
mbar x I x s-1 | 30 | 30/50 | ||
氮气，连续使用 | ||||
mbar x I x s-1 | 20 | 17/36 | ||
氩气，短暂，例如抽出中 | ||||
mbar x I x s-1 | 20 | 20/30 | ||
氩气，连续使用 | ||||
mbar x I x s-1 | 15 | 12/24 | ||
极限压强 | ||||
ISO-F法兰 | mbar | < 10-8 | < 10-8 | |
CF法兰 | mbar | < 10-10 | < 10-10 | |
高除气温度 | °C | 80 | 80 | |
前级耐压 | ||||
氮气 | mbar | 4 | 2 5/1 2 | |
氩气 | mbar | 0 6 | 2 5/1 2 | |
推荐的前级泵 | TRIVAC B或干泵 | |||
加速时间 | min | < 7 | <10 | |
前级管道法兰 | DN | 40 KF | 40 KF | |
吹扫/破空端口(夹链式) | DN | 16 KF | 16 KF | |
水冷接口尺寸 | G | 1/8" | 1/8" | |
重量 | kg | 45 | 50 | |
执行ISO 3744标准的噪声级 | dB(A) | < 41 | < 41 | |
速度时高真空法兰处的振动值 | μm | 0 01 | 0 01 | |
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
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