TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- *的转子设计，实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低，抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量较轻，尺寸较小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- *的转子设计，实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低，抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量轻，尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
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典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
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技术参数 | TURBOVAC MAG | ||||||
W 2200 C/CT | W 2200 | ||||||
进气口 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | 250 CF | |||
PNEUROP的抽速氮气 氩气 氦气 氢气 | I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 | ||||||
额定转速 | min-1 | 29 400 | 29 400 | 29 400 | |||
压缩比氮气 | > 1 x 108 | > 1 x 108 | 1 x 108 | ||||
极限压强，根据 DIN 28 400 | mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10) | |||
前级耐压（对氮气）对流冷却时 水冷却时 | mbar (Torr)mbar (Torr) | – 2 (1 5) | – 2 (1 5) | 0 1 (0 075) 1 (0 75) | |||
推荐的前级泵抽速达100m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | ||||
启动时间达95%名义转度时 | min | < 8 | < 8 | < 8 | |||
出气口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | |||
吹扫和破空口 | 1/4" VCR | 1/4" VCR | DN 10/16 | ||||
冷却水接口（管道外径） | 1/2" | 1/2" | Swagelok管1/4" | ||||
重量（近似） | kg (lbs) | 48 (106) | 48 (106) | 60 (132) | |||
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