R-200 Standard R-200 Standard 原子层沉积系统-仪表网

公司介绍主营产品

上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

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PICOSUN® R-200 标准 ALD 系统适用于数十种应用的研发，例如 IC 组件、MEMS 设备、显示器、LED、激光器和 3D 对象，例如透镜、光学器件、珠宝、硬币和医疗植入物。

R-200 Standard 原子层沉积系统产品详情

标准基板尺寸与类型

● 50 mm - 200 mm 单晶片

● 156 mm × 156 mm 太阳能硅晶片

● 3D 对象

● 粉末和颗粒

● 小批量

● 多孔、通孔和高纵横比（高达 1：2500）

工艺温度

● 50℃ - 500℃

标准工艺

● Al₂O₃、TiO₂、SiO₂、Ta₂O₅、HfO₂、ZnO、ZrO₂、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金属

基板装载

● 使用气动升降机手动装载

● 带磁性机械臂的负载锁

前驱体

● 液体、固体、气体、臭氧

● 多达 6 个源、带 4 个独立入口

其他选项

● Picoflow™ 扩散增强剂、RGA、N₂ 发生器、气体洗涤器、定制设计、惰性装载手套箱兼容性

关键词：标准发生器手套箱

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