P-300B P-300B 原子层沉积系统-仪表网

公司介绍主营产品

上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

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产品简介在线询价

PICOSUN™ P-300 系统拥有的热壁、独立的前驱体管路和特殊的载气设计，确保可以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和的电学和光学性能的高质量 ALD 薄膜。高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷，大限度减少系统的维护停工期和使用成本。拥有技术的 Picoflow™ 使得在超高深宽比结构上沉积保形性薄膜更高效，并已在生产线上得到验证。

P-300B 原子层沉积系统产品详情

衬底尺寸和类型

● 200mm 晶圆 25片/批次（标准间距）

● 150mm 晶圆 50片/批次（标准间距）

● 100mm 晶圆 75片/批次（标准间距）

● 非标准晶圆类基底（使用定制夹具）

● 高深宽比基底（深宽比 1 : 2500）

工艺温度

● 50°C – 500°C

标准工艺

● 批量生产的平均工艺时间小于 10 秒/循环*

● Al₂O₃，SiO₂，Ta₂O₅，HfO₂，ZnO，TiO₂，ZrO₂，AlN，TiN 及各种金属

● 同一批次薄膜不均匀性 < 1% 1σ，(Al₂O₃，WIW，WTW，B2B，49pts，5mm EE)**

基片加载

● 气动升降

● 手动装载

● 线性半自动装载

前驱体

● 液态，固态，气态，臭氧源

● 源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务

● 4 根独立的源管线，最多加载 8 个前驱体源

关键词：标准传感器

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