介绍
检测大尺寸样品 – 拥有自动聚焦系统且满足超净室等级要求
分析从最小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆，或甚至整块平板显微器，其间不会对样品造成破坏。借助 300 mm 的横向移动距离和 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证，并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。
特点
• 两种手动和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜 300 mm 横向与纵向移动距离和 254mm 垂直深度的优势。
• Axio Imager Vario 能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这就意味着，即便是较重的样品，也可以获得高精准聚焦精度和可重复性。
• 借助自动聚焦硬件，您可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
• Axio Imager Vario 与 LSM 700 组合应用，以高分辨率无接触地分析敏感样品。
• Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证，并满足洁超净室等级 5 的要求。
超净室
半导体制造与晶圆检测需要在超净室内完成。根据 DIN EN ISO 14644-1 标准，以每立方米的颗粒数量和大小将其划分成不同等级。在超净室应用中，Axio Imager Vario 已通过此标准认证，并满足超净室等级 5 的要求。超净室
ISO 5 等级相当于原 FED STD 209E（1992）标准的 100 级。超净室套件中包含一个 7 孔物镜转盘、一个颗粒保护罩及一个防喷嚏保护罩。
自动聚焦硬件
集成有 Auto Focus 自动聚焦硬件系统的 Axio Imager Vario 能够在高达12000 µm 的焦点捕获范围内实现快速精准的聚焦。在工业生产和研究的检测应用中，您需要一套聚焦精度能达到物镜景深 0.3 倍的高精度聚焦系统。该自动聚集硬件适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。
