产品简介
体管迁移率测试系统是评估半导体器件性能的核心工具,它通过精密测量载流子(电子/空穴)在电场作用下的迁移速率,直接反映材料的导电能力和器件的开关速度。该系统广泛应用于新材料研发、制备工艺优化及产品质量控制等关键环节,是推动高性能芯片技术进步和保障半导体产业良率基础装备。通过高效的自动化测试与数据分析,它为科研创新和大规模生产提供了至关重要的参数依据。
产品特点
□ 利用半导体参数分析仪进行迁移率测试;
□ 电流分辨率: 10 fA;
□ 电压分辨率:100 nV;
□ 电压范围:-200 V 至 200 V;
□ 直流电流量程:-1 A 至 1 A;
□ SMU通道数量: 1-3可选;支持±3A脉冲电流;
□ 可以1.8MS/s的高速采集速率进行高精度测量;
□ 支持变温迁移率测试系统;
□ 支持显微系统耦合;
□ 支持光场耦合。