K975X 多用途高真空蒸发镀膜仪-仪表网

公司介绍主营产品

南京覃思科技有限公司是由原南京江南光学仪器厂光电仪器专家出资设立的一家从事光学、电子仪器销售与服务的专业公司。公司经营范围主要为：光学仪器；光电测量仪器；电子仪器；与仪器配套的计算机软硬件的销售、研发以及技术服务。公司具有多年行业经验，拥有良好的客户资源和技术能力,所销售的仪器质量和服务均为*，在用户中口碑很好。
代理销售的产品为：“美国OGP”三坐标测量显微镜；“韩国MIRERO”扫描电子显微镜AIS2100（扫描电镜SEM）；Delong USA Inc低压桌上型透射电镜LVEM5(LVTEM超小型台式透射电镜)；“美国热电NORAN”X-RAY能谱仪；“英国EMITECH”电镜制样设备；“日本尼康（NIKON）”生物显微镜；“美国Maxwell”冷光仪(BL/CL法摩尔浓度仪、生物发光仪、化学发光检测仪)；“德国莱卡（LEICA）”金相显微镜、其它工业显微镜；“日本拓普康（TOPCON）”色彩辉度计BM-7等系列、分光辐射度计SR-3；“英国雷尼绍（RENISHAW）”激光干涉仪、球杆仪；国产“江南牌（JN）”各类显微镜；“贵阳新天”万工显、投影仪、测长仪；以及与仪器配套的显微图象处理分析软件系统（含各种进口、国产CCD摄像头）DT-2000等，本公司是韩国MIRERO株式会社*的扫描电子显微镜(扫描电镜SEM)中国总代理,同时还是“英国EMITECH”电镜制样设备、韩国SurfaceTech界表面张力\接触角测量仪中国总代理以及Delong USA Inc桌上型低压透射电镜LVEM5中国大陆代理商。本公司还承接各种显微镜的数字化改造。技术、质量、服务均为*，在用户中口碑很好。
本公司一向坚持以“诚信经营、诚实服务”为立业宗旨，奉行“精研覃思、无微不至”的企业文化，公司将以更优秀的科技产品及服务回报社会，愿与社会各界竭诚合作，共同发展。

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多用途高真空蒸发镀膜仪产品详情

K975X涡轮蒸镀仪是一个多用途系统，它具有灵活性和模块化扩展功能，以适应不同的样品制备。
它可从蒸篮和坩锅进行碳蒸发、金属蒸发并且可选溅射附件。
K975X可应用一系列成熟技术，包括镀碳及TEM覆形，碳/金属蒸发、低角度Shadowing和通过使用双源蒸发进行顺序涂层，可选的溅射镀膜附件能适用于各种靶材。
通过使用微处理控制器，更增强了系统的灵活性，用户很容易附加各种可选件，但是这些“缺省”都是经过优化操作设计，使得全自动和手动操作均可实现*操作。
*的抽屉式样品装载系统使用户方便放入各种样品，铰链式顶盖结构很容易达到系统其它区域。
涡轮分子泵安装在系统外部，可方便安装及更换，它的前级真空为旋转真空泵。整个抽气过程为全自动控制，达到高真空后进行蒸发。本仪器为台式，可方便地进行使用控制，使用中的疏忽也不易造成损坏。

K975S半导体晶圆蒸镀仪
K975S基于K975X，但是它具有特殊的装载锁定门，可允许放入8英寸（200mm）晶圆镀碳，应用于FIB。

优点
● 容易操作
● 使用灵活
● 可靠的碳蒸发
● 方便的样品装载及卸载
● 灵活的操作，可选择碳及金属蒸发源
● 在排气过程中可防止样品损坏
● 系统灵活性强
● 很容易测量金属或碳沉积膜厚

特点
● 全自动抽真空系统
● 样品尺寸可达140毫米见方或200毫米直径
● *的“anti-stick”碳棒蒸发机构
● 抽屉式样品装载系统
● 可选的蒸镀类型，具有四种蒸发设置
● 约束的或开放的排气控制
● 可选用各种溅射靶材附件适用于一系列金属
● 可选膜厚监测系统

可选溅射附件
溅射电流：0到100mA

沉积速率：0到50nm/分（Au）

标准靶：57mm Au（可选Pt, Pt/Pd, Pd, Cr, Ni, Cu, Ag）

定时：0到4分钟
HT安全互锁装置

可选膜厚监测系统

可选辉光放电

技术规格

仪器尺寸：450mm W x 500mm D x 300mm H
工作腔室：硼硅酸盐玻璃，带有铰链式顶盖。250mm Dia x 300mm H（样品可达直径200 mm即8"）
安全钟罩：聚碳酸酯，维护时工作腔室很容易移开
重量：65Kg
碳枪：高度可调，倾斜0-20^o ，使用直径6.15mm碳棒
涡轮分子泵：100L/Second为标准配置，可选各种尺寸
真空范围：ATM - 1x10^-7mbar
工作真空达到时间：15分钟内
操作真空：10^-5 mbar量级（可选液氮冷阱）

蒸发源（脉冲或可变控制）：四种模式可选，低电压

a.c. V, 5V, 15V,25V @ 25 amps. 7V @100 amps

样品台：0-45^o可倾斜

旋转样品台（可选）：直径60mm，倾斜0-45^o，具有

15rpm 到 45rpm可变速度控制

Services –Argon（对可选溅射附件） - Nominal 4psi.

真空泵：No. 2 泵(2m³/Hr)，complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter

电源：230V 50/60Hz (包含泵zui大电流为8 Amp)；115V 50/60Hz (包含泵zui大电流为16 Amp)

注：In Circuits with Current Trips , when using Pulse for 230 v a 16amp minimum for 115 v a 32 amp minimum

关键词：真空泵标准

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