K1050X 射频等离子处理仪(等离子刻蚀\清洁\灰化)-仪表网

公司介绍主营产品

南京覃思科技有限公司是由原南京江南光学仪器厂光电仪器专家出资设立的一家从事光学、电子仪器销售与服务的专业公司。公司经营范围主要为：光学仪器；光电测量仪器；电子仪器；与仪器配套的计算机软硬件的销售、研发以及技术服务。公司具有多年行业经验，拥有良好的客户资源和技术能力,所销售的仪器质量和服务均为*，在用户中口碑很好。
代理销售的产品为：“美国OGP”三坐标测量显微镜；“韩国MIRERO”扫描电子显微镜AIS2100（扫描电镜SEM）；Delong USA Inc低压桌上型透射电镜LVEM5(LVTEM超小型台式透射电镜)；“美国热电NORAN”X-RAY能谱仪；“英国EMITECH”电镜制样设备；“日本尼康（NIKON）”生物显微镜；“美国Maxwell”冷光仪(BL/CL法摩尔浓度仪、生物发光仪、化学发光检测仪)；“德国莱卡（LEICA）”金相显微镜、其它工业显微镜；“日本拓普康（TOPCON）”色彩辉度计BM-7等系列、分光辐射度计SR-3；“英国雷尼绍（RENISHAW）”激光干涉仪、球杆仪；国产“江南牌（JN）”各类显微镜；“贵阳新天”万工显、投影仪、测长仪；以及与仪器配套的显微图象处理分析软件系统（含各种进口、国产CCD摄像头）DT-2000等，本公司是韩国MIRERO株式会社*的扫描电子显微镜(扫描电镜SEM)中国总代理,同时还是“英国EMITECH”电镜制样设备、韩国SurfaceTech界表面张力\接触角测量仪中国总代理以及Delong USA Inc桌上型低压透射电镜LVEM5中国大陆代理商。本公司还承接各种显微镜的数字化改造。技术、质量、服务均为*，在用户中口碑很好。
本公司一向坚持以“诚信经营、诚实服务”为立业宗旨，奉行“精研覃思、无微不至”的企业文化，公司将以更优秀的科技产品及服务回报社会，愿与社会各界竭诚合作，共同发展。

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K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。抽屉式抽拉系统,固态射频等离子处理系统,应用于SEM/TEM中材料表面刻蚀、微观灰化、表面改性处理以及清洁处理。

射频等离子处理仪(等离子刻蚀\清洁\灰化) 产品详情

K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时，可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀。

应用：

● 石棉试样制备

● 有机材料微观灰化

● SEM&TEM中有机样品刻蚀

● 去除光刻胶及电子元件中的包胶

● 塑料品的表面处理

● SEM/TEM中的样品夹清洗

特点：

● 固态射频发生器及调谐电路

● 全自动控制

● 抽屉式结构

● 两种处理气体

● 紧凑的台式系统

优点：

● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注：我们建议使用No. 2泵，
它具有“的油”。

技术规格

仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H 重量：25Kg
桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.（硼硅酸盐玻璃作为标准配置）

拉出式抽屉：样品托盘为抽拉式
等离子输出：射频电源-固态150瓦射频峰值，通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.

(备注：所使用的频率为标准组织CISPR认可的“工业”频率)

真空测量范围：完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10^-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar

数字计时单元：99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。

双气体流控制：双气体针阀控制，可选1或2或两种气体（校准5到 100cm³/分空气 @ A.T.P.）

电源：230V 50Hz (包括泵zui大电流5 Amp)；115V 60Hz(包括泵zui大电流10 Amp)

Services： Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)

真空泵：No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m³/Hr

关键词：发生器标准真空泵

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