基本功能 | 1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2，实现薄膜均匀性检测 3，实现反射、投射以及颜色测量 |
产品特点 | l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； l 简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数； l 快捷、准确、稳定的参数测试； l 支持多功能配件集成以及定制； l 支持不同水平的用户控制模式； l 支持多功能模拟计算等等。 |
系统配置 | l 型号：SR500R l 探测器： 2048像素的CCD线阵列 l 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯 l 光传送方式：光纤 l 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小 l 软件： TFProbe 2.2版本的软件 l 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连 l 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率 l 电脑硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空间 l 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A l 保修：一年的整机及零备件保修 |
规格 | l 波长范围：250nm到1700 nm l 光斑尺寸：500μm至5mm l 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm l 基板尺寸：zui多可至50毫米厚 l l 测量时间：zui快2毫秒 l 精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） l 重复性误差*：小于1 ? |
可选配件项 | l 用于传递和吸收测量的传动夹具（SR500RT) ?? l zui低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP500) l 在多个位置下，多个通道用于同时测量 (SR500xX) l 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM500-200/300） |
应用领域 | 主要应用于透光薄膜分析类领域： l 玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…） l 半导体制造（PR，Oxide, Nitride…) l 液晶显示（ITO，PR，Cell gap...） l 医学，生物薄膜及材料领域等 l 油墨，矿物学，颜料，调色剂等 l 医药，中间设备 l 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半导体化合物 l 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 l 非晶体，纳米材料和结晶硅 |
