原子力显微镜AFM

A100-AFM装备了闭环样品定位系统。

它保证了定位的精度在10纳米（这比市场上的闭环原子力显微镜的性能好10倍）。

这些突出的特性，再配以APE研究的*的软件工具，使得这款仪器适用于纳米光刻。

A100-AFM SGS 配备了弯曲扫描镜台，这保证了高平面度使得用户可以进行大范围的测量（可以达到100微米）。

APE研发了原子力显微镜的附加工具，这可以用于一些具体的测量模式（如EFM（静电力显微镜），MFM（磁力显微镜），Liquid cell（液体池））

我们还和意大利研究院合作研发其他工具以满足用户可能提出的要求。

A100-SGS AFM

A100-SGS SPM（扫描探针显微镜） 镜台

扫描镜台具有包含张力测量传感器的独立定位系统

扫描器技术资料：

X-Y扫描范围：

100*100微米（高电压模式）；

10*10微米（低电压模式）

高电压模式分辨率：闭环：2nm，开环：0.2nm

闭环线性度：0.1%

Z扫描范围：10微米（高电压模式）；

1微米（低电压模式）；

分辨率：0.16纳米（高电压模式），

0.02纳米（低电压模式）。

AFM Head 适用于接触模式，非接触模式，半接触模式和横向力模式

AFM Head 具有工业级的悬臂支架保持器，该保持器可以移动（很容易在悬臂上安装和拆卸），也很容易固定在悬臂上。头部还具有装备了激光和光电二极管传感器的前置放大器。

SPMCU2-PI

SPM 控制单元

SPM控制单元和计算机（配别有多输入输出主板）驱动扫描器，数据采集和采样运动

采样距离的末端由超低噪声的模拟反馈控制，该模拟反馈由计算机数字化驱动。

该系统的硬件时钟是高速的和高精度的

HVA3-PI Unit

高电压放大器

HAV是一种高电压放大器模块可以驱动A-100 SGS 扫描镜台

计算机和数据采集板

WindowsXP、Vista 操作系统；奔腾处理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM内存，160G硬盘，DVD光驱，键盘和鼠标，19寸液晶显示器，采集板和接口。

采集软件

软件运行是基于窗口的，为了仪器控制和数据采集，还支持多窗口操作。软件具有简易的滤波器可以实时分析并获取图像。软件控制了仪器的所有参数。

APE研究的仪器装备了图像测量数据分析软件的基本模块，另外14项可选的功能也可以独立的获得。

辅助

光刻工具

隧道扫描显微镜工具

ＭＦＭ（磁力显微镜）工具

ＥＦＭ（电场力显微镜）工具

ＣＡＦＭ（导电原子力显微镜）工具

液体池

隔音箱

桌台

其他可用的模块