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基本功能 | 1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2，薄膜均匀性测试以及模拟运算功能 3，测试微小区域的薄膜厚度、光学参数等 |
产品特点 | l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； l 实现微小区域薄膜厚度、光学参数检测； l 简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数； l 快捷、准确、稳定的参数测试； l 支持多功能配件集成以及定制； l 支持不同水平的用户控制模式； l 支持多功能模拟计算等等。 |
系统配置 | 型号：SE200BA-MSP-M300 探测器：阵列探测器 光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源 测量角度变化：软件设置自动调节 平台：ρ-θ配置的自动成像 软件：TFProbe 3.2版本的软件 整合了SE和MSP的优点 计算机：Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器 电源：110–240V AC/50-60Hz，6A 保修：一年的整机及零备件保修 |
规格 | 波长范围：250nm到1000 nm 波长分辨率: 1nm 光斑尺寸：1mm至5mm可变
入射角变化分辨率：0.01度 数字成像像素：130万 有效放大倍数：1200X 长物镜工作距离：12mm 光斑尺寸：2-500um可调 样品尺寸：zui大直径为300mm 基板尺寸：zui多可至20毫米厚 测量厚度范围*：0nm?10μm 测量时间：约1秒/位置点 精确度*：优于0.25％ 重复性误差*：小于1 ? |
可选配件项 | l 用于反射的光度测量或透射测量； l 用于改变入射角度的自动量角器； l X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)； l 加热/致冷平台； l 样品垂直安装角度计； l 波长可扩展到远DUV或IR范围； l 扫描单色仪的配置； |
应用领域 | 主要应用于透光薄膜分析类领域： l 玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…） l 半导体制造（PR，Oxide, Nitride…) l 液晶显示（ITO，PR，Cell gap...） l 医学，生物薄膜及材料领域等 l 油墨，矿物学，颜料，调色剂等 l 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半导体化合物 l 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 l 非晶体，纳米材料和结晶硅 |
