序号 | 校准项目 | 主要校准设备 |
1 | 外观及性能 | 目视 |
2 | 检定仪平台表面粗糙度 | 表面粗糙度比较样块 |
3 | 检定仪平台直线度 | 分辨力0.01mm/m 的电子水平仪或 |
4 | 示值误差 | 玻璃线纹尺 U95=(1.4+1.4L) μm |
5 | 重复性 | 玻璃线纹尺U95=(1.4+1.4L) μm |
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