成都太科光电技术有限责任公司
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INF450-LP-WM激光平面数字干涉仪产品型号：INF450-LP-WM成像质量良好，结构简洁卧式结构，双端口测量操作方便，使用简单波长调谐相移解相分析系统
1、双端口检测；
2、大口径元件面形检测；
3、测量光学元件的材料均匀性；
4、平行平板元件多表面测试；
5、元件面形分析，光学数据处理。
序号 | 指标名称 | 指标参数 |
1 | 测试结构 | 卧式双端口； |
2 | 测试口径 | 大端口：有效口径≥φ450mm； 小端口：有效口径≥φ100mm； |
3 | 相移方式 | QPS波长调谐相移或机械相移解相； |
4 | 测试光源 | 波长调谐相干光源，λ=632.8nm，相干长度≥100m； 可选氦氖相干光源，λ=632.8nm（用于机械相移） |
5 | CCD指标 | 可选分辨率≥1.2K×1.2K，或分辨率≥2.3K×2.3K， 或分辨率≥3.4K×3.4K； |
6 | φ800mm标准楔形镜（TF镜） | 标准面面形：PVr优于λ/20，中频误差PSD1小于0.9nm，进口熔石英材料； |
7 | φ800mm标准反射镜（RF镜） | 标准反射面面形：PVr优于λ/20，中频误差PSD1小于0.9nm，进口微晶材料； |
8 | 系统传递函数 | ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ450mm大端口系统）； |
9 | 系统精度 | 系统精度：系统空腔精度PVr优于λ/15，中频误差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口径内）； |
10 | 系统重复性精度 | 系统重复性精度：系统RMS重复性优于λ/2000（2σ）； |
11 | 调焦范围 | 调焦范围：光瞳调焦范围≥±2m； |
12 | ZOOM变焦 | 1-6X光学变焦（1.2K） 或1X光学变焦，50X数字变焦(2.3K/3.4K)； |
13 | 测试对准方式与角度 | 测试对准方式与角度：快对准与精密对准方式，对准角度≥±15°/±3°； |
14 | 波长调谐相移分析软件 | 输出峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、等高图、X-Y剖面图、三维立体图、干涉条纹图、MTF(光学传递函数)、PSF(点扩散函数)，泽尔尼科多项式分析、赛德尔相差分析等； 分析软件可进行矩形、椭圆、正方形、圆、多边形等数据分析功能； 平行平板类元件测试功能（样品无需特殊处理），一次干涉条纹数据采集可同时得到，平行平板前表面面形、后表面面形，光学厚度变化； 具有材料均匀性测试分析功能； |
15 | 标准反射镜支撑调节 | 二维手动与电控角度调节，整体结构气浮大范围移动； |
16 | 测试工装 | 两维角度调节，一维平移调节，大范围气浮调节； |
17 | 气浮隔振平台 | 隔振平台，尺寸≤3800mm×1500mm |
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