上海续波光电技术有限公司
磁控溅射和电子束蒸发镀膜一体机是纳米器件制备中*的仪器,用于制备各种高纯金属薄膜和氧化物薄膜。开展量子计算机实验研究,如基于金刚石NV色心,离子阱,超导量子结,量子点电子自旋的研究,均需要蒸镀/溅镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件。
配置概要:
1、 系统配有多个腔室:UHV蒸发室、UHV溅射室,load lock等,用于制备约瑟夫森结。
2、 电子束蒸发源:(4-6)x 15cc,6-15KW,2-10KV可调。
3、 溅射室配有多个磁控靶源,每个靶源有独立的挡板,配备独立气路。
4、 可以注入多种气体,进行氧化处理,并且可控制其压强。
5、 样品台可以适用于3英寸以上晶片,且具有样品台倾斜和旋转功能(三维转动)。
6、 样品衬底在镀膜前可以通过离子枪进行清洁。
7、 主要真空腔真空度可达10-9-10-10 Torr。
8、 可以沉积几乎任何金属及氧化物薄膜。
9、 蒸镀厚度控制速度分辨率: 0.001nm/s
10、 整个系统全自动控制,支持半自动和手动模式。
代表用户:*超导及量子器件研究实验室。
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st52014/
主营产品:磁控溅射仪,电子束蒸发镀膜仪,离子减薄仪,微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD),化学束外延系统,电磁场场分布测试仪,等离子处理,刻蚀机,光学软件与材料(金刚石),HFCVD,BSDF/BRED测量仪,电磁场仿真软件
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