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  • SAL-3000系列桌面型ALD原子层沉...

SAL-3000 SAL-3000系列桌面型ALD原子层沉...

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具体成交价以合同协议为准
  • 型号SAL-3000
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新时间2022-04-01
  • 厂商性质经销商
  • 入驻年限20
  • 实名认证已认证
  • 产品数量54
  • 人气值1222
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凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司由瑞典Hot Disk有限公司,英国THT有限公司共同注资成立的。公司开发、制造并销售导热系数分析仪、反应量热仪等世界*的*分析仪器,同时是以色列Nanonics原子力显微镜AFM/扫描探针电镜SPM以及AFM+Raman+IR+SEM/SPM一体连用测试技术。公司在范围内拥有众多系统用户,并在英国、美国、德国、日本等二十个国家和地区设立了分支机构。

瑞典Hot Disk公司主要开发、制造并销售基于瞬变平面热源技术(TPS)的热导率、热扩散率和比热容的测试仪器;英国THT公司是一家专业开发制造量热仪和提供化工领域安全咨询和产品检测服务的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是业界将近场光学显微镜(NSOM)技术和原子力显微镜(AFM)相技术相结合的*,NANONICS凭借着实力和品质,其产品涉足的领域从科研到工业,从生物学到半导体,从化学制品到无线电通讯,应用范围极其广泛。公司新近推出了材料表征连用技术,包括Nanonics系列电镜(AFM、SPM)与Renishaw拉曼光谱仪、Smith在线红外技术和扫描电镜SEM的组合一体机,具有很高的性价比和竞争力。


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SAL-3000系列桌面型ALD原子层沉...
SAL-3000系列桌面型ALD原子层沉... 产品详情

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SAL-3000 ALD原子层沉积系统

SAL3000是一款适用于研究型的ALD原子层沉积设备,该设备最多可搭载6路前驱体,适用于4英寸(φ100mm)以下基底材料的镀膜。该设备在保持了优异的膜厚分布外,还可进一步通过改变镀膜方向,来进一步提高镀膜的质量。并且该设备还可搭载互锁腔体(Load lock Chamber)和手套箱来沉积需要气氛保护的样品

sal3000-b-1.pngSAL3000+load chamber.jpg

SAL-3000 SAL3000+Load Lock Chamber

SAL-3000型号参数.gif

性能及特点:

1.镀膜质量高

SAL-3000原理操作界面.gif

·膜厚均匀性≤3% @ 100mm

·对于内孔、凹槽与高深宽比结构具有良好的沉积均匀性;

·膜厚可准确控制达一个原子层;

·大面积制程可达到无孔洞薄膜(Pin Hole free

·*的重复性及稳定性

·材料缺陷密度低

·可成长非晶型或结晶薄膜(选择温度)

2.两种成膜方向可选

·可选择将薄膜沉积在基底上表面(SAL-3000D)和基底下表面(SAL-3000U),薄膜沉积在基底下表面可降低颗粒附着基底的风险。

3. 可搭载互锁腔体(Load lock chamber)和手套箱

4.图形用户界面,触控操作,简单易用,可存储30多种镀膜方案;

5.主机与控制机箱一体化设计;

6. 可搭配多种配件:

干式真空泵,臭氧发生器,尾气处理装置,800℃基底加热器,200℃前驱体加热器等,退火设备等;

配件.gif

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