等离子发光分析终点检测仪

布赖特光学系统是通过HORIBA Jobin Yvon制造的一个巨大的，直径为70 mm的偏差纠正凹面光栅而实现的。

等离子发光分析终点检测仪凹面光栅本身的聚光能力使其具有 比短焦距车尔尼特纳型光谱仪更为明亮的一套简易光学系统架构，并且可以zui小化因为镜面及其他反射面造成的反射损失。

等离子发光分析终点检测仪背光式CCD可以达到高量子效率，确保从紫外光到可见光之间的宽波段范围内获得稳定的分光镜使用。高灵敏度的测量在紫外光波段，特别是在那些较少受到干扰影响的波长范围，使终点监测成为可能。应制程控制的要求，此软件可以执行多种工序，从等离子体现象分析到测量数据的数据库创建和生产设备的远程遥控。测量工序的可编程架构设计使其可以对多重监测和时序处理进行设定。它赋予检测器不仅可以被用于终点监测，同时也可以被广泛的用于等离子体环境下的监测。这是一种对于等离子体异常情况进行报警的*设计，也可以通过利用2种波长之间的变换系数来指导终点测量，全回收功能，一旦收集到光谱学的数据后，对制程优化或者终点监测的模拟可以通过应用新的制程设计反复进行。一个用于识别等离子中发光类别的数据库已经包含在内，光谱学数据可以转换成一个时距记录曲线图，或者可以通过屏幕格式，把操作波形，比对参考数据获得的相对计算波形和其他信息显示出来。专为时间记录图分析而准备的自动图形软件