真空高低温探针台：
1． 产品名称：真空探针台
2． 产品型号：KT-Z1604T-RL
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
功能要求
KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面可升温到400℃。低温-190°C。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
真空高低温探针台：主要技术要求
1． 腔体材质：304不锈钢
2． 上盖开启：铰链侧开
3． 加热台材质：304不锈钢
4． 内腔体尺寸：φ160x90mm
5． 观察窗尺寸：Φ70mm
6． 加热台尺寸：φ55×55mm
7． 观察窗热台间距：75mm
8． 加热台温度： -190-400℃
9． 加热台温控误差： ±1℃
10． 真空度： 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
11． 允许正压： ≤0.1MPa
12． 真空抽气口： KF25真空法兰
13． 气体进气口： 3mm-6mm卡套接头
14． 电信号接头： SMA转BNC X 4
15． 电学性能： 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V 漏电流 ≤-10次方安培
16． 探针数量： 4探针
17． 探针材质： 镀金钨针
18． 探针尖： 10μm
19． X轴移动行程： 30mm ±15mm
20． X轴控制精度：≤0.01mm
21． Y轴移动行程：13mm ±12.5mm
22． Y轴控制精度：≤0.01mm
23． Z轴移动行程：13mm ±12.5mm
24． Z轴控制精度：≤0.01mm
25． 显微镜类别：物镜
26． 物镜倍数：0.7-4.5倍
27． 工作间距：90mm
28． 相机：sony 高清
29． 像素：1920※1080像素
30． 图像接口：VGA
31． LED可调光源：有
32． 显示屏：8寸
33． 放大倍数：19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
四：主要配置
1．1台 · 真空探针台KT-Z1604T-RL
2．1台 · 工业CCD
3. 1台 · 真空泵-8
4. 1个 · PG800真空计
5. 1台 · 液氮泵
