武汉8英寸/12英寸探针台技术参数是一种用于半导体、材料科学等领域的精密测试仪器，主要用于对半导体晶圆、芯片、材料样品等进行电气性能测试和分析。
武汉8英寸/12英寸探针台技术参数
台体
Chuck尺寸：8英寸 12英寸
快速抽拉：行程-110mm 行程-150mm
水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y气浮移动：可360℃气浮移动，便于快速定位样品
X-Y移动行程：8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
X-Y移动精度：1um/2um
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台：最多可放置8个探针座或12个探针座
平台升降：可快速升降6mm/可微调升降25mm
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
显微镜
显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率：16X-100X/20X-4000X
移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm（Z轴可选气动升降，全面快速进行物镜切换）
光源：外置LED环形光源/同轴光源
CCD:200万像素/500万像素/1200万像素
探针座
X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm
移动精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
DC调节点测角度：0-30℃
RF调节角度：多点控头调水平旋钮，可以+-10℃调节，精度0.1度
探针夹具
线缆：同轴线/三轴线/射频线/开尔文线
漏电精度：10pA/100fA/10fA
固定探针：弹簧固定/管状固定
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口
DC针尖直径：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探针频率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
材质：钨钢/铍铜/镀镍
外形：900mm*700mm*900mm /950mm长 *700mm宽*700mm高
重量：约150千克/180千克
可选附件（根据客户要求定制）
加热台
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
防震桌
镀金卡盘
光电测试配件
