日本YAMATO等离子清洗机IV600 返回列表页

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更新时间：2021-09-28 09:13:17浏览次数：119次

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产品简介

日本YAMATO等离子清洗机IV600

日本YAMATO等离子清洗机IV600:

IV600(Magazineto Magazine process)

MagazinetoMagazineplasma process

Specifications

Model	IV600
Plasmamethod	RIE
Electrodestructure	ForMagazinecorrespondence electrode structure
RFgenerator	100-600W
Oscillatingfrequency	13.56MHz
Controlsystem	LCDtouchpanelwith PLC
Chambersize	(W)230×(D)400×(H)200mm
Chambermaterial	Aluminum
Reactiongas	O2,Ar
Purge gas	N2orDryair
Flow meter	Mass flowcontrol2line
Vacuumpump	1000L/min
Gas system	2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
Externaldimension	(W)1,000×(D)900×(H)970mm
Powersupply	AC200/220/380V3phase 10A