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日本YAMATO等离子清洗机MPC600

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产品型号MPC600

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更新时间:2021-09-28 09:23:08浏览次数:129次

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日本YAMATO等离子清洗机MPC600

日本YAMATO等离子清洗机MPC600:

MPC600
  • RIE • DP mode
  • Electrode stage - up to6inch
  • RF power is up to MAX. 600W
  • One touch control
  • Made of quartglasschamber

Specifications

Model MPC600
Method RIE •DPmode
Electrode Aluminumroundtype
RFgenerator 50 - 600W
Oscillatingfrequency 13.56MHz
Controlsystem Digitaldisplaywith one touch operation
Chamber Adapted for 6inchwafer
Chambermaterial SUS
Reactiongas O2,Ar,CF4
Purge gas N2 orDryair
Flow meter Massflowcontrol
Vacuumpump 5000L/min
Gas system 2 line(Reactiongas) , 1 line (Purge)
Externaldimension (W)650 x (D)700x(H)1,480mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A

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