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日本YAMATO等离子清洗机CV600

日本YAMATO等离子清洗机CV600
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产品型号CV600

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更新时间：2021-09-28 09:21:20浏览次数：206次

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产品简介
日本YAMATO等离子清洗机CV600

详情介绍

日本YAMATO等离子清洗机CV600：

CV600

Specifications

Model CV600
Plasmamode RIE • DP
Electrode Parallelflatstage plate
RFgeneratorpower 100 - 600W
Oscillating 13.56MHz
Controlsystem Digitaldisplayａnd one touch control
Chamber (W) 310 x (D)220x (H) 140mm
Electrodestage (W) 230 x(D)140mm
Chambermaterial SUS
Reactiongas O2,Ar
Purge gas N2 orDryair
Flow meter Flow meter
Vacuumpump Vacuumpump(120L/min)
Gas system 2 line andpurgeline
Externaldimensions (W) 480 x (D)500x(H) 1,065mm
Powersupply(50/60Hz) AC200/220/380VThree phase 7A

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