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大口径立式炉

大口径立式炉
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产品型号VFS-4000

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更新时间：2021-10-01 10:11:12浏览次数：83次

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产品简介
大口径立式炉：Availableforvacuum/atmosphericpressureprocessAvailableforvariousgasesSubstratesize:730930mm(Typical)(Tobediscussedforothersize

详情介绍

大口径立式炉：

  • Available for vacuum/atmospheric pressure process
  • Available for various gases
  • Substrate size: 730×930 mm (Typical)
    (To be discussed for other size.)
  • Excellent temp performance of large LGO heater
Outer dimension W2000×D2000×H4200mm (furnace body)
HeaterLGO heater
Operation temperatureRT~700℃
substrate size730×920 (G4)
Batch size20~25
Flat zone temperatureto ±3℃
Chamber materialhigh-grade quarts
ControllerModel VSC1000
OptionForced-cooling system, HOST communication(SECS/GEM)

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