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对应8inch Wafe的立式炉

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产品型号VF-5300

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更新时间：2021-10-01 10:24:03浏览次数：105次

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产品简介
对应8inchWafe的立式炉:Largebatch

详情介绍

对应8inch Wafe的立式炉:

  • Large batch, Max 150 wafers batch processing
  • Max 20 cassette stocks
  • Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
  • High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W900×D2300×H3250mm
HeaterLGO heater(ID ø400mm)
Flat zone length960mm
Wafer size8inch
Batch size150wafers
I/O port2
Number of FOUP stock20(standard)
Finger5wafers+single wafer
ControllerModel VSC1000
OptionForced-cooling system, N2 load lock,
HOST communication(HSMS/GEM),
Thin wafer (100μm or more)handling, SMIF operation

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