当前位置:安捷来国际股份(香港)有限公司>>日本KOYO高温炉>>半导体制造热处理设备>> VF-5100通用量产型立式炉
Outer dimension | W1250×D3200×H3400mm | |
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Heater | LGO heater(ID ø500mm) | |
Flat zone length | 1040mm | |
Wafer size | 300mm | |
Batch size | 100wafers | |
I/O port | 2 | |
Number of FOUP stock | 16(standard) | |
Finger | 5wafers+single wafer | |
Controller | Model VSC1000 | |
Option | Forced-cooling system, N2 load lock, HOST communication(GEM300) |
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