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对应300mm Wafe的立式炉

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产品型号VF-3000

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更新时间：2021-10-01 10:22:03浏览次数：84次

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产品简介
对应300mmWafe的立式炉:Low-costequipmentforbackendusersMinibatch

详情介绍

对应300mm Wafe的立式炉:

  • Low-cost equipment for back end users
  • Mini batch, 50 to 75 wafers processing is available for R&D to mass production line
  • 4 to 8 inch wafer size is available
  • Max 4 cassette stocks
  • Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
  • High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1200×D1400×H2550mm
HeaterLGO heater
Flat zone length350~500mm
Wafer size4~8inch
Batch size75wafers
I/O port4
Number of FOUP stock4
Fingersingle wafer
ControllerModel 880
OptionForced-cooling system, Convertible wafer size

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