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对应300mm Wafer的小型立式炉

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产品型号VF-5700

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更新时间：2021-10-01 10:27:43浏览次数：96次

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产品简介
对应300mmWafer的小型立式炉:MiniBatch

详情介绍

对应300mm Wafer的小型立式炉:

  • Mini Batch, flexible 25 to 50 wafers batch processing
  • Max 12 FOUP stocks
  • High throughput by high-power heater with fast heat up
  • High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1250×D2000×H2850mm
HeaterHigh power LGO heater(ID ø500mm)
Flat zone length500mm
Wafer size300mm
Batch size50wafers
I/O port2
Number of FOUP stock12(standard)
Finger5wafers+single wafer
ControllerModel VSC1000
OptionForced-cooling system, N2 load lock,
HOST communication(GEM300), Stocker less type(VF-5700-F2)

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