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Model 206A

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产品型号Model 206A

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更新时间：2021-10-01 10:12:56浏览次数：82次

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产品简介
Model206A：No

详情介绍

Model 206A：

  • share in domestic market
  • Handles 100 to 200 mm square wafer
  • Batch: 200 to 400 wafers processing is available(depends on flat zone length and wafer pitch)
  • First heating up and cooling down, reduced power by KTS' exclusive LGO heater
Outer dimension W850×L6700×H2500mm (three-stage furnace)
HeaterLGO heater
Flat zone length1000mm
Temp. control3~5 Zone
Transfer equipmentBoat loader

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