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感应加热式高速升降温炉

感应加热式高速升降温炉
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产品型号RLA-3100

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更新时间：2021-10-01 10:15:20浏览次数：121次

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产品简介
感应加热式高速升降温炉

详情介绍

感应加热式高速升降温炉：

  • 4 to 8 inch wafer size is available
  • Multi axis clean robot enables high speed and accurate wafer transfer
  • Max 50 wafers continuous processing is available
  • Equipped with operator friendly high performance control system
  • Vacuum designed quartz tube enables accurate gas substitution and process at vacuum pressure
Outer dimension W900×D1850×H2500mm
Operation temperature400 to 1200℃
Heat up rateMax.200℃/sec
Lamp layoutUpper & lower cross lamp arrays
Number of control zone6
Wafer size4 to 8 inch
I/O port2
Wafer transfersingle wafer / multi-axis clean robot
ControllerModel RSC1000
OptionVacuum system, HOST communication(HSMS/GEM)

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