当前位置:安捷来国际股份(香港)有限公司>>日本KOYO高温炉>>半导体制造热处理设备>> RLA-3300感应加热式高速升降温炉
Outer dimension | W1500×D2300×H2080mm | |
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Operation temperature | 400 to 500℃ | |
Heat up rate | Max.250℃/sec | |
Lamp layout | Upper cross lamp arrays | |
Number of control zone | 22 | |
Wafer size | 300mm | |
I/O port | 2 | |
Wafer transfer | single wafer / multi-axis clean robot | |
Controller | Model RSC1000 | |
Option | HOST communication(GEM300) |
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