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感应加热式高速升降温炉

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具体成交价以合同协议为准

产品型号RLA-3300

品       牌

厂商性质经销商

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更新时间:2021-10-01 10:16:47浏览次数:134次

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感应加热式高速升降温炉


感应加热式高速升降温炉:

  • Low cost performance by limited function
  • Upper cross lamp structure and zone segmentation improved the uniformity of in-plane temperature
  • Wafer relation system to improve the uniformity of in-place temperature
  • Multi axis clean robot enables high speed and accurate wafer transfer
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1500×D2300×H2080mm
Operation temperature400 to 500℃
Heat up rateMax.250℃/sec
Lamp layoutUpper cross lamp arrays
Number of control zone22
Wafer size300mm
I/O port2
Wafer transfersingle wafer / multi-axis clean robot
ControllerModel RSC1000
OptionHOST communication(GEM300)

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