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感应加热式高速升降温炉

感应加热式高速升降温炉
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产品型号RLA-3300

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更新时间：2021-10-01 10:16:47浏览次数：87次

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产品简介
感应加热式高速升降温炉

详情介绍


感应加热式高速升降温炉：

  • Low cost performance by limited function
  • Upper cross lamp structure and zone segmentation improved the uniformity of in-plane temperature
  • Wafer relation system to improve the uniformity of in-place temperature
  • Multi axis clean robot enables high speed and accurate wafer transfer
  • Equipped with operator friendly high performance control system
Outer dimension W1500×D2300×H2080mm
Operation temperature400 to 500℃
Heat up rateMax.250℃/sec
Lamp layoutUpper cross lamp arrays
Number of control zone22
Wafer size300mm
I/O port2
Wafer transfersingle wafer / multi-axis clean robot
ControllerModel RSC1000
OptionHOST communication(GEM300)

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