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单片IR式净化烧成炉:CleanstructurewithnodustcausedbyitselfFar-infraredradiation(IR)heatin...
分批式净化系统:Theoriginalsealedstructurehasenabledtheatmosphericprocess
多片一体式连续净化炉:Thewalkingbeamsystemwithhighcleanperformancehasbeenadopted
滚筒式连续炉:Thetransferrollerofspecialceramicsandtheoriginaldrivingsystemavoidgenerat...
对应300mmWafer的小型立式炉:Largebatch
对应300mmWafer的小型立式炉:MiniBatch
通用量产型立式炉
对应8inchWafe的立式炉:Largebatch
对应300mmWafe的立式炉:Low-costequipmentforbackendusersMinibatch
RD1000H2100mmHeaterLGOheaterFlatzonelength160to250mmWafersizeto8inchBatchsizeto2...
批量生产/实验室用卧式炉:Fromexperimentalusagetomassproduction
感应加热式高速升降温炉
感应加热式高速升降温炉
感应加热式高速升降温炉:4to8inchwafersizeisavailableLowcostsystembymanualsusceptortransferUp...
Model206A:No
大口径立式炉:Availableforvacuum/atmosphericpressureprocessAvailableforvariousgasesSubs...
连续渗碳淬火炉
网带式连续烧结炉
真空淬火炉:ガス冷却と油冷の組合せが可能多彩な冷却方向(1方向・上下・全周)対流加熱による急速昇温長寿命グラファイトロッドヒータを採用均一な温度精度を確保(5℃...
吸热型炉气发生装置:熱処理プロセスに欠かせない吸熱型炉気発生装置独自の省エネ断熱材一体型モルダサームヒータ採用低ランニングコスト、CO2排出量の削減に貢献メタノ...
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